MPS- 6'' 探針臺 Mini Probe Station
產(chǎn)品分類： 探針臺
MPS- 6‘‘ 探針臺 Mini Probe Station功能設(shè)計上增加了顯微鏡的氣動升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題
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MPS- 6'' 探針臺 Mini Probe Station
特點(diǎn) | 類型 | 規(guī)格 | |
* 適用于6英寸以內(nèi)的各種半導(dǎo)體器件的高精度測試 | 顯微鏡控制 | 在探針臺本體的功能設(shè)計上增加了顯微鏡的氣動升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測試過程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會有碰傷樣品和鏡頭的問題 | |
顯微鏡X-Y軸行程：2" x2" | |||
顯微鏡放大倍率：20X~2000X （倍率可選） | |||
chuck（卡盤） | 尺寸：6英寸，圓形（方形可選） | ||
材質(zhì)：不銹鋼（可升級鍍金） | |||
旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1° | |||
X-Y移動行程：6" x6"，移動精度：5um（可升級為1um精度） | |||
Z軸升降行程：5mm，卡盤快速升降，方便更換樣品，不會碰觸到其他已調(diào)試好器件 | |||
吸附孔：中心孔徑最小可做到250微米，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸為6"X6" | |||
整體規(guī)格 | 尺寸：850mm長 x 680mm寬 x 720mm高 (帶顯微鏡) | ||
重量： 100 Kg(帶顯微鏡) | |||
U型大平臺，可放置8個探針座 | |||
平整度：5um，使針座吸附更牢固（可定制針座固定在平面上） | |||
附件可選： 激光切割、探針卡夾具、高低溫樣品臺、防震桌、CCD視頻系統(tǒng)、屏蔽箱、顯微鏡暗場 / DIC/Normarski 檢測 | |||
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