SCD-1500型半導體C-V特性分析儀

關鍵詞：半導體，C-V特性，集成電路  

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀創新性地采用了雙CPU架構、Linux底層系統、10.1英寸電容式觸摸屏、中英文操作界面、內置使用說明及幫助等新一代技術，適用于生產線快速分選、自動化集成測試及滿足實驗室研發及分析。半導體C-V特性分析儀測試頻率為10kHz-2MHz，VGS電壓可達±40V，足以滿足二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導體件CV特性測試分析。

一、主要應用范圍：

半導體元件/功率元件

二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

半導體材料

晶圓、C-V特性分析

液晶材料

彈性常數分析

二、性能特點：

通道：2（可擴展至6）

高偏置：VGS：0 - ±40V，VDS：0–200V,1500V,3000V

雙CPU架構，最短積分時間0.56ms（1800次/秒）

10.1英寸電容式觸摸屏，分辨率1280*800，Linux系統

點測、列表掃描、圖形掃描(選件)三種測試方式

四寄生參數（Ciss、Coss、Crss、Rg）同屏顯示

快速導通測試Cont

一體化設計：LCR+高壓源+繼電器矩陣

快速充電，縮短電容充電時間，實現快速測試

自動延時設置

10檔分選

三、功能特點

A.單點測試，10.1英寸大屏，四種寄生參數同屏顯示，讓細節一覽無遺

10.1英寸觸摸屏、1280*800分辨率，Linux系統、中英文操作界面，支持鍵盤、鼠標、LAN接口，帶來了無以倫比的操作便捷性。

MOSFET最重要的四個寄生參數：Ciss、Coss、Crss、Rg在同一個界面直接顯示測量結果，并將四個參數測試等效電路圖同時顯示，一目了然。

多至6個通道測量參數可快速調用，分選結果在同一界面直接顯示。

B.列表測試，靈活組合

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀支持最多6個通道、4個測量參數的測試及分析，列表掃描模式支持不同通道、不同參數、不同測量條件任意組合，并可設置極限范圍，并顯示測量結果 。

C.曲線掃描功能（選件）

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以對數、線性兩種方式實現曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數多條曲線 。

D.簡單快捷設置

E.10檔分選及可編程HANDLER接口

儀器提供了10檔分選，為客戶產品質量分級提供了可能，分選結果直接輸出至HANDLER接口。

在與自動化設備連接時，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動化客戶的難題，TH510系列將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應信號、應答方式等完全可視化，讓自動化連接更簡單。

F.支持定制化，智能固件升級方式

SCD-1500型半導體C-V特性分析儀客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。

儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。

固件升級非常智能，可以通過系統設置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內存、外接優盤甚至是局域網內升級包，并自動進行升級

G.半導體元件寄生電容知識

在高頻電路中，半導體器件的寄生電容往往會影響半導體的動態特性，所以在設計半導體元件時需要考慮下列因數在高頻電路設計中往往需要考慮二極管結電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅動能力和開關損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴性在電路設計中也是至關重要，以MOSFET為例。

技術參數

1、通道：2通道（可擴展6通道）

2、顯示：液晶顯示，觸摸屏

3、 測量參數：C、L、X、B、R、G、D、Q、ESR、Rp、θ、|Z|、|Y|

4、測試頻率：10kHz-2MHz

5、 精度：0.01%

6、分辨率：10mHz  1.00000kHz-9.99999kHz

7、電壓范圍：5mVrms-2Vrms

8、精度：±（10%×設定值+2mV）

9、 VGS電壓： ±40V，準確度：1%×設定電壓+8Mv,分辨率;1mV(0V-±10V)

10、 VDS電壓：0 - 200V

11、精度：1%×設定電壓+100mV

12、 1%×設定電壓+100mV

13、輸出阻抗：100Ω，±2%@1kHz

14、軟件：C-V特性曲線分析，對數、線性兩種方式實現曲線掃描